光刻机技术全景报告 - 副本

光刻机制作人：星河智源报告生成时间：2024-08-26星河智源 助力科技 创新科技提升 质量成促进果转化专利转化概况趋势展力示该术领域逐年公转化开的升申请、升授权及请、对应率域开的公转化请、升（率域开的升当/开的升）。公域较多展力示该术份为）热公域较度开 的概况高新，上可以展力示该术反映研发投高新概况/入呈映由请、公于明周度转化逐年期长具有延度后性因2-此域公开的升近请、对，3和能/ 开的域偏低开的请、请、类型20占比15644此82比全部此2920占6156.64占260部全比920占.156全240此比8部24920占815全占8比6.6占部.6920占全15占占0比.0占6此部449202015占比048全此比全部此89202占15占682860比占部占此9202215占8比全6比2此比部0.9202此15204062占此0部4492024156此占.此占占部比.9pOpQsRsNnQtMmOoRsMqOrM6McMbRmOnNtRtPfQrRwPfQrQpPaQrQsPxNnRpMNZrQtN星河智源 助力科技 创新科技提升 质量成促进果转化偏低趋势展力示该术公转化偏低%7度映由近分布技低实用3申是功高公科技度结构外观实权设计结构公科技/产品映由类型一热度般科技越为一热则分布技低程 ；设计公侧重量则设计小偏。申改技种更换公代快结构外观和。/ 偏低行升映由转化占此.占.分布技低248此结构外观.2星河智源 助力科技 创新科技提升 质量成促进果业数法律转化长状延多长状公转化，上布呈态、度效状转化力示维失不业数再受度保护转化，上不审时再受度请、有失态、/效状中后可以临原公力示主体申水平主体 管/ 业数法律行升长状.比8此理状4比比6等保4占此此星河智源 助力科技 创新科技提升 质量成促进果力示生无于明趋势转化开的升在转化开的人行升命时间公与随推移果公而利/%变率情力示该术生无于明析前所处度与阶段测力示映趋未来/方命时间向周度开的升近开的 人行升如增都创新度大由展转化力示前呈向周明/入呈转化逐年公具有延度因幅域公开的升近开的人行升，3和能/ 开的域开的升开的人行升20占比6442比820占66.62比比20占.6全2此0820占8全占8此.此20占全占占0比4482020占比046占占202占占682.6此2022占8比全848202此2040全此020246此占4占2星河智源 助力科技 创新科技提升 质量成促进果转化开的护表两国%7趋势展力示该术等护表省两国公转化开的升%7/开的升）增公市术度展各市区地长通常力示相关度通常力示公反集）多群量/究先一颜大由开的升一。度色 深鼠标定位程度究先到右条势权及公开的升度各会护通及开的升公市术显右热图/ 各术开的升高也此866亮海200比江苏占6全2北京占比全此广亮84.东浙.8占安徽624四江比全8川湖4比6陕西亮此全8黑京此26龙山此占.吉林2此.福建20此四天202津南占64；辽占比0亮湖占0全河江全4河天84北湖.0黑湖68宁庆44甘天4占护表肃云20台湾占此贵州内8也天8护表蒙古.南香6技港4夏也占星河智源 助力科技 创新科技提升 质量成促进果力示%变力示功成趋势展力示该术临疆力示%青公转化%7/转化升）。公力示%青度科技份为通权）热度率情力示该术公要支空，3实白等机右/ %偏点鼠潜转化行升号0此义.（20部G光授F外曝应其制布备通复制外曝发号0此照2.（00当印2006部0占B比0占占号0此义全（00中[申州]申]版申备]申会片大框公权纹面鼠标度准方或例各应号0此义.（22自群则备通州]公制曝发号0此义占（00则等其制布公备通复]外曝护公发号0此照2.（00当印2006部0占B880号0此义.（00会片框度准方度复动大框公备通制[方光刻优刷则会片框备通制[布公工艺度方：材光料含致抗公工艺则会片框备通制[公转布外曝应布呈蚀剂优刷公光料含致抗是功特通常公标殊度准方度照44见度置0占C度准方度置0占C2占（00度置0比H当印2006部0占B4.全置0占C2占（02.部部段等置0占C2占（占8面置0占C2占（此4L护K材公多量产组公光刻优刷等包步原半高制作导之印2006部0占B4此此照8占见占（00等掩]贵面F高制膜面前平公基殊面造装应照8占见此（00自群当印2006部0占B406置0占C此占（占8部转系统布呈制膜面前平门适这些面F5些公未业面外曝印2006部0占B此64置0占C2占（6.部转系统布呈等制膜面前平器越护前平包步原面件过原这些公基殊则转系统电呈等包步原面件过原这些面5些公制膜面前平器越护前平固]公基...